打破國外長期壟斷！江蘇相城高新區(qū)“雙高協(xié)同”創(chuàng)新破局
來源： 紫牛新聞
2025-09-03 16:13:00
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)攻堅“自主可控”的關(guān)鍵戰(zhàn)場，江蘇相城高新區(qū)（元和街道）正書寫著“雙高協(xié)同”的精彩篇章，轄區(qū)企業(yè)泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司攜手河海大學(xué)蘇州高等研究院攻克的“真空環(huán)境超潔凈晶圓傳送機械臂”項目，打破國外長期壟斷，成為“高校智慧+高新區(qū)沃土”共育創(chuàng)新成果的典范。
長期以來，真空環(huán)境超潔凈晶圓傳送機械臂作為半導(dǎo)體生產(chǎn)線的“神經(jīng)中樞”，被日本樂茲、美國布魯克斯等企業(yè)壟斷，且列入禁運目錄，成為制約我國產(chǎn)業(yè)鏈安全的“痛點”。國產(chǎn)設(shè)備曾深陷“拼裝國外核心部件”的困境，自主可控迫在眉睫。在此背景下，相城高新區(qū)（元和街道）立足產(chǎn)業(yè)需求，牽線河海大學(xué)蘇州高等研究院與泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司深度聯(lián)動，以產(chǎn)學(xué)研融合破題攻堅。
河海大學(xué)蘇州高等研究院仿生機器人技術(shù)團隊作為攻堅中的高校核心力量，展現(xiàn)了強勁科研實力。團隊負(fù)責(zé)人徐林森教授帶領(lǐng)團隊，聚焦真空環(huán)境下的超潔凈晶圓傳送技術(shù)難點，創(chuàng)新采用集成化驅(qū)動與磁流體密封技術(shù)，破解了真空潔凈度控制難題；基于國產(chǎn)操作系統(tǒng)構(gòu)建實時控制系統(tǒng)，實現(xiàn)納秒級響應(yīng)精度；研發(fā)誤差補償算法，將重復(fù)定位精度控制在±0.05mm，水平振動降至0.2g，各項指標(biāo)達國際先進水平。
為推動技術(shù)落地，相城高新區(qū)（元和街道）助力河海大學(xué)蘇州高等研究院與泓滸共建研究生基地，讓學(xué)生深度參與項目研發(fā)，將高校前沿技術(shù)直接轉(zhuǎn)化為企業(yè)工程方案，實現(xiàn)“實驗室成果”到“生產(chǎn)線應(yīng)用”的無縫銜接。這種“高新區(qū)搭臺、企業(yè)出題、高校解題”的模式，催生出全國產(chǎn)化晶圓真空傳送平臺，填補了國內(nèi)真空鍍膜工藝傳送設(shè)備空白。
目前，該設(shè)備已導(dǎo)入多家行業(yè)標(biāo)桿企業(yè)，在薄膜沉積、刻蝕等關(guān)鍵制程穩(wěn)定運行，累計銷售收入約1300萬元，小批量投產(chǎn)穩(wěn)步推進。團隊更牽頭編制《真空晶圓搬運機器人驗收規(guī)范》團體標(biāo)準(zhǔn)，獲6項國家發(fā)明專利，筑牢技術(shù)壁壘。
此次突破，是相城高新區(qū)（元和街道）與河海大學(xué)蘇州高等研究院“雙高協(xié)同”的生動注腳。未來，這片創(chuàng)新沃土將持續(xù)深化校地聯(lián)動，讓“高校智腦”與“高新區(qū)動能”同頻共振，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控注入不竭動力。
揚子晚報/紫牛新聞記者 梅方瀅
校對 潘政